产品详情
  • 产品名称:高温超纳米压痕测试仪

  • 产品型号:UNHT³ HTV
  • 产品厂商:CSM
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简单介绍:
高温纳米压痕测试仪(高温超纳米压痕测试仪)是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800°C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。高温超纳米压痕测试仪(高温纳米压痕测试仪)UNHT 技术与独特的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
详情介绍:

高温超纳米压痕测试仪 (UNHT³ HTV)

仪器简介:

高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专 利 UNHT 技术与独特的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

主要特点:

环境条件下低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内低热漂移 (< 3 nm/min)

高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合,可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统,允许在测量期间关闭初级泵,使振动降至*低。

独特的加热控制系统(3 项专 利待批),采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热,以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。

符合 ISO 14577 ASTM E2546 国际标准

技术指标:

载荷

*大载荷

100 mN

载荷分辨率

  6 nN

本底噪音

  0.5 [rms] [μN]*

位移

*大位移

100 μm

位移分辨率

0.003 nm

本底噪音

0.15 [rms] [nm]*

 

极限真空度

10⁷ mBar

*高温度

800 °C

*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。

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